NỘI DUNG TÀI LIỆU

Nghiên cứu quá trình thiết kế và sản xuất Microcantilever trong vi
cơ điện tử (MEMS-Microelectromechanical Systems)

Tác giả: Phạm Thị Thảo Khương
Năm: 2022
Thể loại: Báo cáo khoa học
Lĩnh vực: KH Kỹ thuật và CN / Kỹ thuật điện, kỹ thuật điện tử, kỹ thuật thông tin
Mô tả: Tóm tắt kết quả nghiên cứu:
− Nghiên cứu hình dáng cấu tạo của microcantilever ứng dụng nhiều trong y học
− Thiết kế các thanh microcantilever trên máy tính bằng phần mềm L-edit
− Nghiên cứu thành công quy trình rút gọn các bước trong sản xuất microcantilever
− Thực hiện các bước để sản xuất ra microcantilever
− Kiểm tra đánh giá các microcantilever thu được để hoàn thiện chu trình sản xuấ
Download: <File>